A 36 nm pitch horizontal two-bar structure exhibits significant CD difference (between upper and lower bar as a function of focus. This has been attributed to the shadowing effect of the EUV illumination. Ref.: V. Philipsen et al., Proc. SPIE vol. 10143, 1014310 (2017).
Этот график желательно воссоздать или аккуратно преобразовать в векторный формат SVG. Это даёт несколько преимуществ, прочитать о которых подробнее вы можете на странице Commons:Media for cleanup. Если вам уже сейчас доступна векторная версия данного изображения, загрузите её, пожалуйста, а затем замените этот шаблон на следующий: {{Vector version available|Имя загруженного файла.svg}}.
Лицензирование
Guiding light из английский Википедия, владелец авторских прав на это произведение, добровольно публикует его на условиях следующих лицензий:
Разрешается копировать, распространять и/или изменять этот документ в соответствии с условиями GNU Free Documentation License версии 1.2 или более поздней, опубликованной Фондом свободного программного обеспечения, без неизменяемых разделов, без текстов, помещаемых на первой и последней обложке. Копия лицензии включена в раздел, озаглавленный GNU Free Documentation License.http://www.gnu.org/copyleft/fdl.htmlGFDLGNU Free Documentation Licensetruetrue
делиться произведением – копировать, распространять и передавать данное произведение
создавать производные – переделывать данное произведение
При соблюдении следующих условий:
атрибуция – Вы должны указать авторство, предоставить ссылку на лицензию и указать, внёс ли автор какие-либо изменения. Это можно сделать любым разумным способом, но не создавая впечатление, что лицензиат поддерживает вас или использование вами данного произведения.
Файл содержит дополнительные данные, обычно добавляемые цифровыми камерами или сканерами. Если файл после создания редактировался, то некоторые параметры могут не соответствовать текущему изображению.